X 射线能量和束尺寸对 CD-SAXS 测量精度影响的研究
Study on the Impact of X-ray Energy and Beam Size on CD-SAXS Measurement Precision
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作者：
秦旭阳
1,2,3
杨春明
1,2,3
边风刚
1,2,3
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作者单位：
- 通讯作者：
杨春明
Email:yangcm@sari.ac.cn
边风刚
Email:bianfg@sari.ac.cn
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提交时间：2025-11-24 13:40:32
摘要: 随着半导体产业向7纳米以下节点发展，临界尺寸小角X射线散射（CD-SAXS）已成为定量测量纳米级偏差的重要技术。本研究探讨了X射线束尺寸与光子能量对关键尺寸测量精度的影响。不同光斑尺寸测得的临界尺寸与预期值存在差异，过大或过小的束尺寸均不利于置信区间的优化。随着入射能量增加，X射线透射率上升而散射截面减小，导致衍射峰的信噪比逐渐降低，从而削弱了CD-SAXS的测量精度。采用较小束尺寸和有效梯形模型在12 keV能量下获得最优精度：平均栅距100.4±0.2 nm，线宽49.8±0.2 nm，高度130.0±0.2 nm，侧壁角低于1.1±0.1°。该研究结果为CD-SAXS实验室建设与X射线设备研制提供了重要指导，为相关领域研究提供了有力支撑。
版本历史
| [V1] |
2025-11-24 13:40:32 |
ChinaXiv:202511.00166V1
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